福 建 省 地 方 计 量 技 术 规 范 JJF （闽）1063－2014 体视显微镜校准规范 111222333 Calibration Specification for Stereomicroscope 2014-07-15发布 2014-10-15实施 福建省质量技术监督局 发 布 JJF （闽）1063-2014 体视显微镜校准规范 Calibration Specification for JJF （闽）1063－2014 Stereomicroscope 本规范经福建省质量技术监督局2014年07月15 准，并自 2014年10月15 日起实施。 111222333 归 口 单 位：福建省质量技术监督局 主要起草单位：厦门市计量检定测试院 参加起草单位：福建省计量科学研究院 麦克奥迪实业集团有限公司 本规范由厦门市计量检定测试院负责解释。 JJF （闽）1063-2014 本规范主要起草人： 邓水发 （厦门市计量检定测试院） 郑伟峰 （厦门市计量检定测试院） 鄢周灵 （厦门市计量检定测试院） 参加起草人： 刘 震 （福建省计量科学研究院） 肖 倩 （麦克奥迪实业集团有限公司） 111222333 JJF （闽）****-2014 目 录 引言………………………………………………………………………… （Ⅲ） 1 范围……………………………………………………………………… （1） 2 引用文件………………………………………………………………… （1） 3 术语……………………………………………………………………… （1） 3.1变倍齐焦差…………………………………………………………… （1） 3.2左右齐焦差…………………………………………………………… （1） 3.3变倍齐中差…………………………………………………………… （1） 3.4左右齐中差…………………………………………………………… （1） 4 概述……………………………………………………………………… （1） 5 计量特性………………………………………………………………… （2） 5.1成像清晰范围………………………………………………………… （2） 5.2变倍齐焦差…………………………………………………………… （2） 5.3左右齐焦差…………………………………………………………… （2） 5.4变倍齐中差…………………………………………………………… （3） 111222333 5.5左右齐中差…………………………………………………………… （3） 5.6分辨力………………………………………………………………… （3） 5.7物镜放大倍率误差…………………………………………………… （3） 5.8左右光学系统放大倍率差…………………………………………… （3） 6 校准条件………………………………………………………………… （3） 6.1环境条件 ……………………………………………………………… （3） 6.1.1温湿度条件………………………………………………………… （3） 6.1.2条件…………………………………………………………… （3） 6.2校准项目及主要测量设备…………………………………………… （3） 7 校准项目和校准方法…………………………………………………… （4） 7.1成像清晰范围………………………………………………………… （4） 7.2变倍齐焦差…………………………………………………………… （5） 7.3左右齐焦差…………………………………………………………… （5） 7.4变倍齐中差…………………………………………………………… （6） 7.5左右齐中差…………………………………………………………… （6） 7.6分辨力………………………………………………………………… （6） I JJF （闽）1063-2014 7.7物镜放大倍率误差…………………………………………………… （7） 7.8左右光学系统放大倍率差…………………………………………… （7） 8 校准结果表达…………………………………………………………… （8） 9 复校时间间隔…………………………………………………………… （8） 附录A栅格状分辨率板线宽表…………………………………………… （9） 附录B校准记录（式样）…………………………………………………… （10） 附录C校准证书内容及内页格式………………………………………… （11） 附录D物镜放大倍率误差的校准结果测量不确定度评定……………… （12） 111222333 II JJF （闽）1063-2014 引 言 JJF 1071 2010 JJF 1001 2011 — 《国家计量校准规范编写规则》、 — 《通用计量 JJF 1059.1 2012 术语及定义》、 — 《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本校 准规范的基础性系列技术文件。 GB/T19863 2005 GB/T19864.1 2005 本规范参照 — 《体视显微镜试验方法》、 — 1 GB/T19864.2 2005 《体视显微镜（第 部分：普及型体视显微镜）》、 — 《体视显 2 微镜（第 部分：高性能体视显微镜）》制定。 111222333 III JJF （闽）1063-2014 体视显微镜校准规范 1 范围 本规范适用于普及型体视显微镜和高性能体视显微镜的校准。 2 引用文件 本规范引用了下列文件： GB/T19863 2005 — 体视显微镜试验方法 GB/T19864.1 2005 1 — 体视显微镜（第 部分：普及型体视显微镜） GB/T19864.2 2005 2 — 体视显微镜（第 部分：高性能体视显微镜） GB/T22059 2008/ISO8039 1997 — ： 显微镜 放大率 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范。凡是不注日期的引 用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。 3 术语 GB/T19864.1 2005 GB/T19864.2 2005 GB/T22059 2008/ISO8039 — 、 — 、 — ： 1997中界定的以及下列术语和定义适用于本规范。 111222333 3.1 变倍齐焦差 变换物镜倍数时，由于像面的位移导致成像不清晰而需要重新调焦的位移。 注：在国标中称为 “齐焦”。 3.2 左右齐焦差 在固定倍率情况下，左右光学系统不同焦面位置差异。 注：国标中称为 “左右光学系统的聚焦差”。 3.3 变倍齐中差 变倍时像平面的横向位移。 3.4 左右齐中差 物面中央物点的像在左右视场内对应位置的一致性。 4 概述 体视显微镜是通过光学系统将微小物体所成的像放大后，由双目显微镜中两 组同样的成像光路，获得具有立体感觉的清晰图像，用于观察物体的表面形貌及 组织结构，并利用分划板上的刻度尺测量物体的几何尺寸。 1 JJF （闽）1063-2014 体视显微镜按结构形式可分为连续变倍型、有级变换型、物镜卸换型三种， 按照技术性能可分为普及型与高性能两种。 图1为一种常见的体视显微镜的外形图。 图1 体视显微镜的外形图 111222333 1—目镜；2—视度调节圈；3—目镜筒；4—变倍手轮；5—弹性压片；6—载物台；7—底座；8—棱镜 罩；9—电源线—亮度调节旋钮。 5 计量特性 5.1 成像清晰范围 体视显微镜视场成像清晰范围应满足表1中的要求： 表1 成像清晰范围 普及型 高性能 上下方向≥60%，左右方向≥50%。 上下方向≥70%，左右方向≥60%。 5.2 变倍齐焦差 体视显微镜变换不同放大倍率物镜时，变倍齐焦差一般不大于0.6mm。 5.3 左右齐焦差 D D 目镜光学系统的左右齐焦差一般不大于1.5 。 按照下式计算： F F  1 D   （1） F 2(NA)2 7NAM 2 JJF （闽）1063-2014 式(1)中： D — 景深； F NA — 数值孔径； M — 总放大率； λ — 光波波长，通常λ=0.00055mm。 5.4 变倍齐中差 体视显微镜使用不同放大倍率物镜时，变倍齐中差应符合表2中的要求。 表2 变倍齐中差技术指标 （单位：mm） 类型 普及型 高性能 连续变倍型 —— 有级变换型 ≤1.2 ≤0.4 物镜卸换型 ≤2.5 5.5 左右齐中差 左右光学系统的左右齐中差应符合以下要求： 111222333 上下方向：一般不大于0.2mm；左右方向：一般不大于0.4mm。 5.6 分辨力 物镜分辨力一般不小于1200·NA。 5.7 物镜放大倍率误差 物镜放大倍率误差应符合以下要求： 普及型体视显微镜：一般不超过±5%；高性能体视显微镜：一般不超过±4%。 5.8 左右光学系统放大倍率差 光学系统的左右放大倍率差应符合以下要求： 普及型：一般不大于2%；高性能：一般不大于1.5％。 注：校准不对测量结果作合格与否的判断，以上技术指标供参考。 6 校准条件 6.1 环境条件 6.1.1 温湿度条件：校准室内温度为（20±10）℃，相对湿度不大于85%。 6.1.2 条件：校准室内应无影响测量的灰尘、振动、气流和腐蚀性气体。 6.2 校准项目及主要测量设备 3 JJF （闽）1063-2014 校准项目及主要测量设备见表3。 表3 校准项目及主要测量设备 序号 校准项目 主要测量设备 1 成像清晰范围 分度值0.2mm、0.5mm的网格板 2 变倍齐焦差 分度值0.2mm、0.5mm的网格板、百分表 3 左右齐焦差 分度值0.2mm、0.5mm的网格板、百分表 分度值为0.1mm 的十字分划目镜（MPE:±0.01mm）、 4 变倍齐中差 十字分划板 分度值为0.1mm的十字分划目镜（MPE:±0.01mm）、 5 左右齐中差 十字分划板 6 分辨力 A4、A5、A7号分辨力板 分度值为 0.1mm、0.01mm 的玻璃线mm 的玻璃线 左右光学系统放大倍率差 0.01mm） 111222333 注：也可采用满足测量不确定度要求的测量设备进行校准。 7 校准项目和校准方法 校准前，以目视方法检查体视显微镜的光学系统。光学系统应成像清晰，视 场内不应有影响测量的霉斑、脏物、划痕等疵病，照明装置应在视场范围内使被 测对象得到均匀并有足够亮度的照明。 以手动方法检查各部分相互作用，可运动部分的移动或转动应平稳舒适，定 位可靠，没有滞涩或急跳现象。光学调焦机构应稳定、可靠。固定在立柱上的调 焦滑座不会由于本身以及附加装置的质量而自行下降。 在确定无影响计量特性的因素后，再进行校准。 7.1 成像清晰范围 将玻璃线纹尺置于载物台上，朝向调为视场的左右方向。体视显微镜使用最 高倍物镜，通过调焦使玻璃线纹尺刻度像清晰的范围为最大，使用玻璃线纹尺分 别测量视场左右方向长度以及玻璃线纹尺刻度像清晰的长度，视场左右方向成像 清晰范围 D 按下式计算:1 4 JJF （闽）1063-2014 L＇ D  100% （2） 1 L 式中：L — 视场左右方向长度，格； L＇— 玻璃线纹尺刻度像清晰的长度，格。 将玻璃线纹尺朝向调为上下方向，按以上方法可得到体视显微镜视场上下方 向成像清晰范围D 。2 7.2 变倍齐焦差 体视显微镜变倍齐焦差使用网格板校准，物镜倍率不大于 1倍时一般采用 0.5mm网格板，大于1倍时一般采用0.2mm网格板。 把网格板置于载物台上，调整左侧目镜，使分划板上的刻度清晰，用高倍物 镜对网格板调焦清晰后，转换至最低倍物镜，调节视度筒使像清晰，如此反复多 次，直至像都清晰为止，此时分划板上的刻度与网格板的像应无视差，否则应重 新细调目镜与调焦手轮，使两者位于同一像面。用百分表测得调焦滑座此时的高 度位置，逐一调换各倍物镜，调换每个物镜后，应保持目镜视度调节圈不动， 仅使用调焦手轮调焦，将网格板像调焦至最清晰，用百分表分别测得此时调焦滑 座的高度位。